真空熱處理工藝一般包含加熱、保溫、冷卻三個全過程，有時候僅有加熱和冷卻2個全過程。這種全過程相互之間對接，不能中斷。
加熱是真空熱處理的關鍵工藝流程之一。金屬材料真空熱處理的加熱方法很多，最開始是采用木碳和煤做為熱原，隨后運用液體和化石燃料。電的運用使加熱易于控制，且無空氣污染。應用這種熱原可以立即加熱，也可以歷經熔化的鹽或金屬材料，以致起浮顆粒開展間接性加熱。
金屬材料加熱時，產品工件曝露在空氣中，經常發病空氣氧化、滲碳(即鋼材零件表面碳成分降低)，這針對真空熱處理后零件的表面特性有很霉氣的危害。因而金屬材料一般應在可控性氛圍或維護保養氛圍中、熔化鹽中合真空泵中加熱，也能用建筑涂料或包裝方法開展維護保養加熱。
高真空燒結爐加熱溫度是真空熱處理工藝的關鍵工藝主要參數之一，選擇和操縱加熱溫度,是保證真空熱處理品質的主要難題。加熱溫度隨被解決的金屬復合材料和真空熱處理的目地不一樣而異，但一般全是加熱到改變溫度之上，以得到高溫分配。其他變化必須必然的時刻，因而當金屬材料產品工件表面做到規定的加熱溫度時，還須在這里溫度堅持不懈必然時刻，使內外溫度一同，使顯微鏡分配變化完全，這一段時刻稱之為隔熱保溫時刻。采用較高能相對密度加熱和表面真空熱處理時，加熱速率很快，一般就沒有隔熱保溫時刻，而有機化學真空熱處理的隔熱保溫時刻通常較長。
冷卻也是真空熱處理工藝全過程中不能短少的全過程，冷卻方法因工藝不一樣而不一樣，主要是操縱冷卻速率。一般淬火的冷卻速率比較慢，淬火的冷卻速率較快，熱處理的冷卻速率更快。但還因鋼材牌號不一樣而有不一樣的規定，比如空軟鋼就可以用淬火一樣的冷卻速率開展淬硬。
金屬材料真空熱處理工藝大致可分成全體人員真空熱處理、表面真空熱處理和有機化學真空熱處理三大類。根據加熱物質、加熱溫度和冷卻方法的不一樣，每一大類又可區別為多個不一樣的真空熱處理工藝。同一種金屬材料采用不一樣的真空熱處理工藝，可得到不一樣的分配，隨后具備不一樣的特性。鋼鐵是工業生產上運用較廣的金屬材料，并且鋼材顯微鏡分配也更為雜亂無章，因而鋼材真空熱處理工藝種類繁雜。

1、加熱
加熱是真空熱處理的關鍵工藝流程之一。金屬材料真空熱處理的加熱方式許多 ，最開始是選用木碳和煤做為熱原，近而運用液體和化石燃料。電的運用使加熱易于控制，且無空氣污染。運用這種熱原能夠立即加熱，還可以根據熔化的鹽或金，以致波動顆粒開展間接性加熱。金屬材料加熱時，產品工件曝露在空氣中，經常產生空氣氧化、滲碳(即鋼材零件表面碳成分減少)，這針對真空熱處理后零件的表面特性有很不好的危害。因此金屬材料一般 應在可控性氛圍或維護氛圍中、熔化鹽中合真空泵中加熱，也能用建筑涂料或包裝方式開展維護加熱。
2、保溫
加熱溫度是真空熱處理工藝的關鍵工藝主要參數之一，挑選和操縱加熱溫度，是確保真空熱處理品質的關鍵難題。加熱溫度隨被解決的金屬復合材料和真空熱處理的目地不一樣而異，但一般全是加熱到改變溫度之上，以得到高溫機構。此外變化必須一定的時間，因而當金屬材料產品工件表面做到規定的加熱溫度時，還須在這里溫度維持一定時間，使內外溫度一致，使顯微鏡機構變化徹底，這段時間稱之為隔熱保溫時間。選用較高能相對密度加熱和表面真空熱處理時，加熱速率很快，一般就沒有隔熱保溫時間，而有機化學真空熱處理的隔熱保溫時間通常較長。
3、冷卻
冷卻也是真空熱處理工藝全過程中不能缺乏的流程，冷卻方式因工藝不一樣而不一樣，主要是操縱冷卻速率。一般淬火的冷卻速率比較慢，淬火的冷卻速率較快，熱處理的冷卻速率更快。但還因鋼材牌號不一樣而有不一樣的規定，比如空軟鋼就可以用淬火一樣的冷卻速率開展淬硬。
真空熱處理工藝方式有什么
發展趨勢到今日，早已有很多新的真空熱處理方式出現，當今常見的真空熱處理方式有淬火、淬火、時效性、調質處理、熱處理回火真空熱處理、調質處理、熱處理、淬火、碳氮共滲、熱處理、纖焊
1、正火：將不銹鋼板材或鑄鐵件加熱到零界點AC3或ACM之上的適度溫度維持一定時間后在空氣中冷卻，獲得鐵素體類機構的真空熱處理工藝。
2、退火：將亞共析產品工件加熱至AC3之上20—40度，隔熱保溫一段時間后，隨爐遲緩冷卻(或埋在砂中或石灰粉中冷卻)至500度下列在空氣中冷卻的真空熱處理工藝。
4、時效性：鋁合金經熱處理回火真空熱處理或冷脆性斷裂后，在室內溫度置放或稍高于室內溫度維持時，其特性隨時間而轉變的狀況。
3、固溶真空熱處理：將鋁合金加熱至高溫單相電區控溫維持，使產能過剩相充足融解到固溶體中，隨后迅速冷卻，以獲得飽合固溶體的真空熱處理工藝。
5、調質處理：使鋁合金中各種各樣相充足融解，加強固溶體并提升延展性及抗蝕特性，清除地應力與變軟，便于再次生產加工成形。
6、調質處理：在加強相進行析出的溫度加熱并隔熱保溫，使加強相沉定進行析出，得到硬底化，提升抗壓強度。
7、淬火：將鋼馬氏體化后以適度的冷卻速率冷卻，使產品工件在截面內所有或一定的范疇內產生奧氏體等不穩定組織架構變化的真空熱處理工藝。
8、回火：將歷經熱處理的產品工件加熱到零界點AC1下列的適度溫度維持一定時間，接著用符合規定的方式冷卻，以得到所必須的機構和特性的真空熱處理工藝。
9、鋼的碳氮共滲：碳氮共滲是向鋼的表面另外滲透到碳和氮的全過程。習慣性上碳氮共滲又稱之為氰化，以中溫汽體碳氮共滲和超低溫汽體碳氮共滲(即汽體軟滲氮)運用比較普遍。中溫汽體碳氮共滲的關鍵目地是提升鋼的硬度，耐磨性能和疲勞極限。超低溫汽體碳氮共滲以高頻淬火為主導，其關鍵目地是提升鋼的耐磨性能和抗牙齒咬合性。
10、調質處理：一般習慣性將熱處理加高溫淬火緊密結合的真空熱處理稱之為熱處理。熱處理廣泛運用于各種各樣關鍵的構造零件，尤其是這些在交替變化負載下工作中的曲軸連桿、地腳螺栓、傳動齒輪及軸類零件等。熱處理后獲得淬火屈氏體機構，它的物理性能均比同樣強度的淬火屈氏體機構更優質。它的強度在于高溫淬火溫度并與鋼的淬火可靠性和產品工件橫截面規格相關，一般在HB200—350中間。
11、釬焊：用釬料將二種產品工件加熱溶化黏合在一起的真空熱處理工藝。
12、真空熱處理：真空熱處理是真空設備與真空熱處理技術相結合的新式真空熱處理技術性，真空熱處理所在的真空指的是小于一個大氣壓的氛圍自然環境，包含低真空泵、中等水平真空泵、高真空泵和極高真空泵，真空熱處理具體也歸屬于氛圍操縱真空熱處理。真空熱處理就是指真空熱處理工藝的所有和一部分在真空泵情況下開展的，真空熱處理能夠完成基本上全部的基本真空熱處理能夠涉及到的真空熱處理工藝，但真空熱處理品質進一步提高。與基本真空熱處理對比，真空熱處理的另外，可完成無空氣氧化、無滲碳、無滲氮，可除掉產品工件表面的磷屑，并有脫油除氣等功效，進而做到表面明亮清潔的實際效果。